其它
商品名稱(chēng)：質(zhì)量流量控制器
商品型號(hào)：DP-D07-7B
商品型號(hào)：DP-D07-7B
質(zhì)量流量控制器 型號(hào)；DP-D07-7B
DP-D07-7B型 質(zhì)量流量控制器
儀器簡(jiǎn)介：
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)：
|
滿(mǎn)量程流量范圍（N2） |
5SCCM～10SLM |
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控制范圍 |
2～100％F.S. |
|
閥類(lèi)型（及閥初始狀態(tài)） |
電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） |
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準(zhǔn)確度 |
±1.5％F.S. |
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線性 |
±0.5～1.5％F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2％F.S. |
|
響應(yīng)時(shí)間 |
≤7sec |
|
工作溫度范圍 |
5～45℃ |
|
工作壓差 |
0.1～0.5MPa |
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耐壓 |
3MPa |
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漏氣率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
|
密封材料 |
氟橡膠（或氯丁橡膠） |
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電插頭形式 |
DB15 pin（Female） |
|
接頭選擇 |
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
|
重量 |
1.1Kg |
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